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石墨舟對二次鍍膜工藝的影響

[摘要]本文主要研究管式PECVD的二次鍍膜工藝優化,通過對石墨舟使用次數與狀態的實驗對比分析,得出未經鍍膜或者鍍膜次數較少的石墨舟可以改善二次鍍膜不良片的產生的結論;最終通過二次鍍膜工藝改進,提升了產線的合格率與產量,保證了產線電池片半成品的質量。

多晶硅片因為制絨工藝及PECVD本身的影響會產生大量發紅的片子,比例在1%-5%之間,通常為2.5%左右。如果該部分色差片全部進行去膜后返工,將會影響當班產量,且返工碎片率較高(1.5%左右),也影響了產出。

通過二次鍍膜進行補鍍[1,2],可以使大部分硅片顏色達到要求,而不需要去膜返工,且已經納入了常規生產工藝中;但是二次鍍膜后部分硅片存在明顯的邊緣發白現象,其合格率最多在70%左右,且印刷的電池片仍會有輕微的邊緣發白,一定程度上影響了電池片的外觀和品質。

優化二次鍍膜工藝來提高產線的一次合格率,且盡可能地減少對發紅色差硅片去膜返工。針對二次鍍膜片來說,產生邊緣發白的原因主要是由于鍍膜過程舟片邊緣與中心電場差異性造成的。硅片邊緣緊貼舟片電場強度大,使得硅片邊緣鍍膜較多,中間鍍膜較少,導致了邊緣色差的產生[3]。通過優化二次鍍膜工藝,使得鍍膜時硅片表面電場強度差異性彌補膜厚的差異性,進而達到明顯改善邊緣色差的目的。

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